单晶硅的材料强度比钢铁强10倍，而且拥有良好的弹性和稳定性

• 产品的结构很坚固，重复性好，构造精确

加工精度 < 1 微米

• 从而提供了移动平台和基准平台之间可以几乎无误差对接

高纵横比的弹性梁

• 纵横比高于 20：1
• 提供良好的设计灵活性

在运动方向的刚度是其他自由度方向刚度的千分之一或更软

• 可确保精确的运动控制

微机电驱动马达是基于梳齿驱动结构

• 梳齿结构是电容驱动器，利用的静电力来驱动两极的导电梳齿
• 梳齿的排列能够保证彼此之间不会接触
• 当施加电压时，两极梳齿结构会相互吸引，从而产生运动
• 静电力（ 和运动） 是与两极梳齿之间的电容变化成正比的